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      晶體爐上傳動部件2
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      詳情

      籽晶在爐內有效行程 2800mm
       上 傳 動 籽晶轉速范圍 2.0~30.0rpm


      慢速:0.20~8.00mm/min

      籽晶拉速 快速:>500mm/min

      晶升速度精度 <2%
      動 態 精 度 晶轉速度精度 <2%

      晶升爬行 升速0.5mm/min≤0.01mm

      籽晶擺動量 晶轉高轉速<2mm

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